服务名称：	半导体照明LED芯片加工技术简介
单位名称：	中国科学院老专家技术中心广州推广中心
服务类别：	技术转让;技术推介;审查证明;技术咨询;技术合同认定登记;软件产品登记;其他;
服务行业：	农/林/牧/渔业;制造业;电力/燃气及水的生产和供应业;信息传输、计算机和软件业;
服务内容描述：	以下的介绍可能很简单，我尽量按照最通俗的语言，给不是这个专业里的人介绍。 芯片加工的定义：所谓芯片加工就是在芯片表面上和表面内制造出半导体器件的一系列生产过程。他指的是外延生长之后，封装加工之前的这个步骤。不同的芯片加工对工艺过程的要求也不完全一样，就我下面给出的芯片加工过程，是最全面的过程，需要不同的话，可能也就是在某些步骤上面有一点增加或者减少。 具体工艺流程： 第一步：衬底检测 ---------- 光学显微镜、X－光衍射分析 （主要就是用光学显微镜检查外延片的表面是否光洁、平整，是否有损伤，用X射线检测物质的晶格匹配等质量问题。） | 衬底清洗 ----------------- 衬底清洗设备 （主要就是用丙酮、乙醇、以及去离子水清洗外延片，使外延片更加清洁。） | GaN发光二-极管生长 -------- 光荧光、X－光衍射分析 | 蒸透明电极 ------------ 电子束蒸发台(Au/Si or Au/Ni) （在外延片的表面用热蒸发金属颗粒等方法，在外延片的表面沉积一定厚度的金属薄膜，作为一侧的电极） | PECVD生长SiO2 ------------------- PECVD （PECVD就是立式化学气象沉积，就是在外延片的表面沉积生长SiO2 薄膜，作为钝化层。） | 光刻台面 ------------- 光刻机、匀胶机、去胶机 （首先是在半导体的表面覆盖一层薄的光刻胶，然后用光刻机曝光，显影和定影，类似于照相，在半导体的表面形成一定的图形，有的地方裸露，有的地方覆盖一层薄的光刻胶。） | 湿法刻蚀台面 ------------- 干法刻蚀机 （在上一步裸露的半导体部分进行腐蚀，形成一定的半导体表面图形。） | 光刻P区 ------------- 光刻机 （在半导体的P区进行光刻，步骤和上面一样） | 干法刻蚀P区 ------------- 干法刻蚀机 （干法刻蚀就是用一种类似于离子轰击等方法，举一个例子，就像用一个铁锤把一个不规则形状的玻璃的边角一点点敲击掉一样。） | 蒸镀P型电极 ------------- 电子束蒸发台（Au/Ni） （和上面提到的方法一样，就是用蒸发设备把金属薄膜蒸发成气态，然后沉积在金属的表面） | 光刻N区 ----------------- 光刻机 | 蒸N型电极 --------------- 电子束蒸发台(Al/Ti) | 合 金 ---------------- 红外合金炉、在线检测仪 （所谓合金，就是用高温的专门的退火炉对样品进行合金，以便使金属薄膜的结合更加紧密。） | 划 片 ----------------- 划片机 （把样品切割成符合需要的尺寸，然后送出去进行封装）
服务流程：	面议。
服务时间：	长期有效。
收费标准：	面议。
服务响应时间：	当天。
服务方式：	网络;电话;邮寄;电子邮件;服务单位上门提供服务;顾客上门接受服务;
联系人信息
单位地址：	广东省广州市黄埔大道西273号惠兰阁14Ｇ房
联系人：	李运才
邮编：	510620
联系电话：	020-85978138
传真：	87580722
Email：	lyc188@126.com
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